
Разработка методов и средств повышения точности и качества процессов лазерной подстройки параметров пленочных элементов электронных приборов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.03) / Ленингр. ин-т точ. механики и оптики
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Юркевич, Б. М. |
Опубликовано: | Л. , 1987 |
Физические характеристики: |
17 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr19664990000 | ||
005 | 20070517204225.0 | ||
100 | # | # | $a 20070517d1987 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Разработка методов и средств повышения точности и качества процессов лазерной подстройки параметров пленочных элементов электронных приборов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.03) $f Ленингр. ин-т точ. механики и оптики |
210 | # | # | $a Л. $d 1987 |
215 | # | # | $a 17 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15-17 (27 назв.). Для служеб. пользования |
686 | # | # | $a 05.27.03 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Юркевич $b Б. М. $g Борис Михайлович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070517 $g psbo |