Кинетика и механизм образования тонких пленок при осаждении металлов в присутствии активных газов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.07) / Харьк. политехн. ин-т им. В. И. Ленина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шулаев, В. М. |
| Опубликовано: | Харьков , 1988 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr19358920000 | ||
| 005 | 20070517180154.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070517d1988 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Кинетика и механизм образования тонких пленок при осаждении металлов в присутствии активных газов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.07) $f Харьк. политехн. ин-т им. В. И. Ленина |
| 210 | # | # | $a Харьков $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14-16 (18 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Шулаев $b В. М. $g Валерий Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070517 $g psbo |