Исследование свойств и характеристик структур полупроводник-диэлектрик-полупроводник и разработка конструктивно-технологических методов повышения быстродействия БИС на их основе: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электр. техники
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Шелепин, Н. А. |
| Published: | М. , 1991 |
| Physical Description: |
32 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||