Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления: (05.27.02): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Чэкай, Д. |
| Wydane: | Л. , 1989 |
| Opis fizyczny: |
14 с.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||