Оптические методы в определении функциональных свойств пленок фоторезистов при производстве БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чуриков, А. А. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1987 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||