Оптические методы в определении функциональных свойств пленок фоторезистов при производстве БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чуриков, А. А. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1987 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr18634830000 | ||
| 005 | 20070510130641.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070510d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Оптические методы в определении функциональных свойств пленок фоторезистов при производстве БИС $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14-16 (25 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Чуриков $b А. А. $g Анатолий Алексеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070510 $g psbo |