
Легированные пленки двуокиси кремния
Guardado en:
Formato: | |
---|---|
Autor principal: | Чу, Т. |
Publicado: | М. : ЦНИИ техн.-экон. исследований и науч. информации , 1967 |
Descripción Física: |
14 с.
|
Lenguaje: | Русский |
Colección: |
Переводы иностр. литературы. Серия "Технология организация производства"
Перевод № 49/ЭТ-2065 |
00000nam0a22000001ib4500 | |||
001 | BY-NLB-rr18574140000 | ||
005 | 20070507202252.0 | ||
100 | # | # | $a 20070507d1967 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Легированные пленки двуокиси кремния |
210 | # | # | $a М. $c ЦНИИ техн.-экон. исследований и науч. информации $d 1967 |
215 | # | # | $a 14 с. |
225 | 2 | # | $a Переводы иностр. литературы. Серия "Технология организация производства" $f М-во электронной пром-сти СССР $v Перевод № 49/ЭТ-2065 |
300 | # | # | $a На обл. авт. не указаны |
675 | # | # | $a 539.216.2+539.23 |
700 | # | 1 | $a Чу $b Т. |
701 | # | 1 | $a Грубер $b Г. |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070507 $g psbo |