Изготовление и C-V характеристики структур Si-Si₃N₄ и Si-SiO₂-Si₃N₄
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Чу, Т. |
| 出版: | М. : ЦНИИ техн.-экон. исслед. и науч. информации , 1968 |
| 實物描述: |
24 с.
|
| 語言: | Русский |
| 叢編: |
Переводы иностр. литературы. Серия: "Полупроводниковые приборы и микроэлектроника"
Пер. № 8/ЭТ-2898 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||