Изготовление и C-V характеристики структур Si-Si₃N₄ и Si-SiO₂-Si₃N₄

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ107465,
格式: Книги
主要作者: Чу, Т.
出版: М. : ЦНИИ техн.-экон. исслед. и науч. информации , 1968
實物描述: 24 с.
語言: Русский
叢編: Переводы иностр. литературы. Серия: "Полупроводниковые приборы и микроэлектроника" Пер. № 8/ЭТ-2898

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 可用  預訂

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
АЯ107465 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:46 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал