
Изготовление и C-V характеристики структур Si-Si₃N₄ и Si-SiO₂-Si₃N₄
Сохранено в:
格式: | |
---|---|
主要作者: | Чу, Т. |
出版: | М. : ЦНИИ техн.-экон. исслед. и науч. информации , 1968 |
實物描述: |
24 с.
|
語言: | Русский |
叢編: |
Переводы иностр. литературы. Серия: "Полупроводниковые приборы и микроэлектроника"
Пер. № 8/ЭТ-2898 |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|