Большие интегральные микросхемы и технологические особенности их производства: [Учеб. пособие]

Сохранено в:
Шифр документа: М137317,
Вид документа: Книги
Автор: Чернозубов, Ю. С.
Опубликовано: М. : МИЭМ , 1980
Физические характеристики: 73 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr18405800000
005 20070503171834.0
010 # # $d 15 к. 
021 # # $a RU  $b [81-10148] 
100 # # $a 20070503d1980 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Большие интегральные микросхемы и технологические особенности их производства  $e [Учеб. пособие] 
210 # # $a М.  $c МИЭМ  $d 1980 
215 # # $a 73 с.  $c ил.  $d 20 см 
300 # # $a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. машиностроения. Библиогр.: с. 71-72 (15 назв.) 
345 # # $9 500 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство 
675 # # $a 621.382.049.771.14.002(075.8) 
700 # 1 $a Чернозубов  $b Ю. С.  $g Юрий Сергеевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070503  $g psbo