Физические основы ионной имплантации аморфного кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Хохлов, А. Ф. |
| Опубликовано: | Л. , 1982 |
| Физические характеристики: |
41 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr17982660000 | ||
| 005 | 20070502154734.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070502d1982 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Физические основы ионной имплантации аморфного кремния $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук $e (01.04.10) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1982 |
| 215 | # | # | $a 41 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Ленингр. политехн. ин-т им. М. И. Калинина. Библиогр. с.: 35-40 (40 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Хохлов $b А. Ф. $g Александр Федорович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070502 $g psbo |