Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе / Под ред. А. Ю. Малинина

Сохранено в:
Шифр документа: АР457188, АУД580716, МД75421,
Вид документа: Книги
Автор: Папков, В. С.
Опубликовано: М. : Энергия , 1979
Физические характеристики: 89 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr17607080000
005 20230615103225.0
010 # # $d 25 к. 
021 # # $a RU  $b [79-54507] 
100 # # $a 20070424d1979 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе  $f Под ред. А. Ю. Малинина 
210 # # $a М.  $c Энергия  $d 1979 
215 # # $a 89 с.  $c ил.  $d 20 см 
300 # # $a Библиогр.: с. 85-88 (69 назв.) 
345 # # $9 2900 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14472967  $a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1659663  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.315.592-416.002 
700 # 1 $a Папков  $b В. С.  $g Владимир Сергеевич 
701 # 1 $a Цыбульников  $b М. Б.  $g Марк Борисович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070424  $g psbo