|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr17588020000 |
| 005 |
20190201094857.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-256-00062-4
$b в пер.
$d 1 р.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-546**]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070424d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы
$e [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений по спец. 0658 «Пр-во микроэлектрон. устройств»]
$f Ю. В. Панфилов, В. Т. Рябов, Ю. Б. Цветков
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 320 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Загл. корешка: Оборудование производства ИС. - Библиогр.: с. 318 (13 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 20000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производства - Оборудование - Учебники и пособия
|
| 610 |
0 |
# |
$a Роботы промышленные - Учебники ипособия
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002.5-52(075.32)
|
| 686 |
# |
# |
$a 32.844.1-5-05я723
$2 rubbk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Панфилов
$b Ю. В.
$g Юрий Васильевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Рябов
$b В. Т.
$g Владимир Тимофеевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Цветков
$b Ю. Б.
$g Юрий Борисович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070424
$g psbo
|
