|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr17488870000 |
| 005 |
20070424174456.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070424d1983 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка методов контроля свойств тонких пленок в электронно-ионной технологии
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e (05.12.10)
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина). Библиогр.: с. 14-16 (19 назв.)
|
| 675 |
# |
# |
$a 612.38+621.793+621.315.5(043.3)
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.10
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Павлюк
$b Э. Г.
$g Эдуард Григорьевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070424
$g psbo
|
