Остаточная адсорбция примесей золота и меди и способы ее устранения в процессе травления и отмывки кремния: (05.17.16): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Осипов, А. Ф. |
| Опубликовано: | М. , 1982 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr17334810000 | ||
| 005 | 20211201114021.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [82-8360а] |
| 100 | # | # | $a 20070424d1982 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Остаточная адсорбция примесей золота и меди и способы ее устранения в процессе травления и отмывки кремния $e (05.17.16) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук |
| 210 | # | # | $a М. $d 1982 |
| 215 | # | # | $a 21 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т тонкой хим. технологии им. М. В. Ломоносова. Библиогр.: с 20-21 (7 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.17.16 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Осипов $b А. Ф. $g Аркадий Федорович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070424 $g psbo |