|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr17175230000 |
| 005 |
20070423141813.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070423d1980 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование деформаций, разработка методик и промышленной аппаратуры для контроля геометрических параметров кремниевых структур с диэлектрической изоляцией
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e (05.12.18)
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1980
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т радиотехники, электроники и автоматики. Библиогр.: с. 19-20 (10 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.18
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Оксанич
$b А. П.
$g Анатолий Петрович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070423
$g psbo
|
