|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr17137930000 |
| 005 |
20191213133043.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 30 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-48012]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070423d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Методы математического моделирования процесса рассеяния потока электронов в электронорезистах
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$c ИК
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 29 с.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препр.
$f АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова
$v 88-17
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 26-29 (71 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные, большие - Производство - Математическое моделирование
|
| 610 |
0 |
# |
$a Литография электронная - Математическое моделирование
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14:776.001.573
|
| 700 |
# |
1 |
$a Одарич
$b О. Н.
$g Олег Николаевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070423
$g psbo
|
