Точность и стабильность технологических процессов в производстве интегральных микроузлов / Центр. правл. НТО приборостроит. пром-сти им. С. И. Вавилова. Обществ. ин-т. Заоч. курсы повышения квалификации ИТР по микроминиатюризации в приборостроении
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Обичкин, Ю. Г. |
| Опубликовано: | М. : Машиностроение , 1976 |
| Физические характеристики: |
55 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr17057890000 | ||
| 005 | 20070423140316.0 | ||
| 010 | # | # | $d Беспл. |
| 021 | # | # | $a RU $b [76-49112] |
| 100 | # | # | $a 20070423d1976 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Точность и стабильность технологических процессов в производстве интегральных микроузлов $f Центр. правл. НТО приборостроит. пром-сти им. С. И. Вавилова. Обществ. ин-т. Заоч. курсы повышения квалификации ИТР по микроминиатюризации в приборостроении |
| 210 | # | # | $a М. $c Машиностроение $d 1976 |
| 215 | # | # | $a 55 с. $c черт. |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.77.002 |
| 700 | # | 1 | $a Обичкин $b Ю. Г. $g Юрий Геннадиевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070423 $g psbo |