
Исследование некоторых физико-химических условий осаждения фосфида алюминия из газовой фазы: (05.17.16): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук
Saved in:
Format: | |
---|---|
Main Author: | Невиак, С. |
Published: | Львов , 1973 |
Physical Description: |
21 с.
|
Language: | Russian |
Series: |
Львов. политехн. ин-т
К-793 |
ОФХ отдела книгохранения
All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|