Физико-химическая модель лазерно-термического оксидирования кремния: (02.00.04 ; 02.00.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук / Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Назаренко, И. Н. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1986 |
| Физические характеристики: |
24 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16469170000 | ||
| 005 | 20070412172610.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [86-16475а] |
| 100 | # | # | $a 20070412d1986 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Физико-химическая модель лазерно-термического оксидирования кремния $e (02.00.04 ; 02.00.01) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук $f Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1986 |
| 215 | # | # | $a 24 с. $c граф. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 24 (5 назв.) |
| 686 | # | # | $a 02.00.04 $2 oksvnk |
| 686 | # | # | $a 02.00.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Назаренко $b И. Н. $g Игорь Николаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070412 $g psbo |