|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr16194970000 |
| 005 |
20140214132951.7 |
| 010 |
# |
# |
$d 40 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-20121]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070411d1987 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Термические процессы в микроэлектронике
$e [Учеб. для сред. ПТУ]
|
| 205 |
# |
# |
$a 3-е изд., перераб. и доп.
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Высш. шк.
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 198, [1] с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Проф.-техн. образование
|
| 300 |
# |
# |
$a Загл. 2-го изд.: Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве. - Библиогр.: с. 197 (9 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 10000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство - Учебники и пособия
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002(075.32)
|
| 686 |
# |
# |
$a 32.852-06я722
$2 rubbk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Моряков
$b О. С.
$g Олег Сергеевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070411
$g psbo
|
