Микролитография : Принципы, методы, материалы : В 2 ч. / Перевод с англ. под ред. Р. Х. Тимерова; Предисл. К. А. Валиева. Ч. 2 / Перевод Д. Ю. Зарослова и др.

Сохранено в:
Шифр документа: 395843, АР547712, 368327, 434750,
Вид документа: Книги
Опубликовано: 1990
Физические характеристики: С. 614-1239, [5] : ил.
Язык: Русский
Предмет:
Микролитография
Загрузка

Схожие документы