Микролитография : Принципы, методы, материалы : В 2 ч. / Перевод с англ. под ред. Р. Х. Тимерова; Предисл. К. А. Валиева. Ч. 2 / Перевод Д. Ю. Зарослова и др.

Сохранено в:
Шифр документа: 395843, АР547712, 368327, 434750,
Вид документа: Книги
Опубликовано: 1990
Физические характеристики: С. 614-1239, [5] : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam2a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr16146940002
005 20200128172204.0
010 # # $a 5-03-001717-8  $b в пер.  $d 5 р. 
021 # # $a RU  $b [90-68072] 
100 # # $a 20070411d1990 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
200 0 # $a Ч. 2  $f Перевод Д. Ю. Зарослова и др. 
210 # # $d 1990 
215 # # $a С. 614-1239, [5]  $c ил. 
300 # # $a Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 1227-1235 
345 # # $9 6700 экз. 
461 # 0 $1 001BY-NLB-rr16146940000  $1 2000   $v Ч. 2 
610 0 # $a Микролитография 
675 # # $a 621.382.049.75:776 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070411  $g psbo