Микролитография : Принципы, методы, материалы : В 2 ч. / Пер. с англ. под ред. Р. X. Тимерова; Предисл. К. А. Валиева. Ч. 1

Сохранено в:
Шифр документа: 391146, АР547711, 368090, 368326,
Вид документа: Книги
Опубликовано: 1990
Физические характеристики: 606 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
Микролитография
Загрузка

Схожие документы