Микролитография : Принципы, методы, материалы : В 2 ч. / Пер. с англ. под ред. Р. X. Тимерова; Предисл. К. А. Валиева. Ч. 1
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | 1990 |
| Физические характеристики: |
606 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam2a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16146930002 | ||
| 005 | 20200515133508.0 | ||
| 010 | # | # | $a 5-03-001716-Х $b в пер. $d 4 р. 50 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [90-61664] |
| 100 | # | # | $a 20070411d1990 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 200 | 0 | # | $a Ч. 1 |
| 210 | # | # | $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 606 с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр. в конце глав |
| 345 | # | # | $9 6700 экз. |
| 461 | # | 0 | $1 001BY-NLB-rr16146930000 $1 2000 $v Ч. 1 |
| 610 | 0 | # | $a Микролитография |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.75:776 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070411 $g psbo |