
Ионная имплантация / Ю. В. Милютин, Н. С. Соловьев
Захавана ў:
Тып дакумента: | |
---|---|
Аўтар: | Милютин, Ю. В. |
Апублікавана: | М. : ЦНИИПИ , 1975 |
Фізіч. характарыстыкі: |
24 с. ; 20 см
|
Мова: | Руская |
Серыя: |
Обзорная информация.: Важнейшие изобрет. года: Электроника
|
Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|