Применение электронных и ионных пучков и плазмы в технологии микроэлектроники: Учеб. пособие / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Меркулова, М. В. |
| Опубликовано: | М. , 1988 |
| Физические характеристики: |
60 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr15653610000 | ||
| 005 | 20190705134910.0 | ||
| 010 | # | # | $d 20 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [88-81999] |
| 100 | # | # | $a 20070405d1988 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Применение электронных и ионных пучков и плазмы в технологии микроэлектроники $e Учеб. пособие $f Моск. ин-т электрон. машиностроения |
| 210 | # | # | $a М. $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 60 с. |
| 345 | # | # | $9 200 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Электроны - Пучки |
| 610 | 0 | # | $a Ионные пучки |
| 610 | 0 | # | $a Плазма (физ.) низкотемпературная |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.77.002:539.1.04(075.8) |
| 700 | # | 1 | $a Меркулова $b М. В. $g Марина Владимировна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070405 $g psbo |