Основы технологии тонких и толстых пленок : Учеб. пособие : [По спец.] 2303 / Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича. Ч. 2
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | 1990 |
| Физические характеристики: |
69, [1] с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam2a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr15605340002 | ||
| 005 | 20201217151818.0 | ||
| 010 | # | # | $d 60 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [90-46074] |
| 100 | # | # | $a 20070404d1990 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 200 | 0 | # | $a Ч. 2 |
| 210 | # | # | $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 69, [1] с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 69 (9 назв.) |
| 345 | # | # | $9 450 экз. |
| 461 | # | 0 | $1 001BY-NLB-rr15605340000 $1 2000 $v Ч. 2 |
| 610 | 0 | # | $a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.772.002:541.1(075.8) |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070404 $g psbo |