Технология тонких пленок : Курс лекций / С. А. Медведев. [Ч. 1] : Разд. «Основы теории и технологии эпитаксиальных пленок полупроводников»
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | 1977 |
| Физические характеристики: |
107 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam2a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr15504100002 | ||
| 005 | 20070402131924.0 | ||
| 010 | # | # | $d 18 к. |
| 100 | # | # | $a 20070402d1977 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 200 | 1 | # | $a Разд. «Основы теории и технологии эпитаксиальных пленок полупроводников» |
| 210 | # | # | $d 1977 |
| 215 | # | # | $a 107 с. $c ил. |
| 345 | # | # | $9 220 экз. |
| 461 | # | 0 | $1 001BY-NLB-rr15504100000 $1 2001 $v [Ч. 1] |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070402 $g psbo |
| 830 | # | # | $a МД2646Ч.2;МД2651Ч.1; |