Исследование структуры слоистых систем диэлектрик-полупроводник методом масс-спектрометрии вторичных ионов: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ350204,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Марченко, Р. И.
Опубликовано: Киев , 1979
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr15308130000
005 20070403171557.0
021 # # $a RU  $b [79-9989а] 
100 # # $a 20070403d1979 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UA 
200 1 # $a Исследование структуры слоистых систем диэлектрик-полупроводник методом масс-спектрометрии вторичных ионов  $e (01.04.10)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук 
210 # # $a Киев  $d 1979 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a В надзаг.: АН УССР, Ин-т полупроводников. Список работ авт.: с 20-22 (16 назв.) 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Марченко  $b Р. И.  $g Ростислав Иванович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070403  $g psbo