Исследование методов и разработка алгоритмов обработки электронно-микроскопических изображений с целью диагностики микроэлектронных приборов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)

Сохранено в:
Шифр документа: 177259/91,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Марущенко, С. Г.
Опубликовано: Л. , 1991
Физические характеристики: 15 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr15295160000
005 20070403171557.0
100 # # $a 20070403d1991 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование методов и разработка алгоритмов обработки электронно-микроскопических изображений с целью диагностики микроэлектронных приборов  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.27.07)  $f Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина) 
210 # # $a Л.  $d 1991 
215 # # $a 15 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 15 (6 назв.) 
686 # # $a 05.27.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Марущенко  $b С. Г.  $g Сергей Григорьевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070403  $g psbo