Технология производства микроэлектронных устройств: [Учебник для сред. спец. учеб. заведений по спец. «Пр-во микроэлектрон. устройств»]

Сохранено в:
Шифр документа: АУ589346, М100091,
Вид документа: Книги
Автор: Малышева, И. А.
Опубликовано: М. : Энергия , 1980
Физические характеристики: 455 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr15048940000
005 20070329165825.0
010 # # $b В пер.  $d 1 р. 
021 # # $a RU  $b [80-14906] 
100 # # $a 20070329d1980 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Технология производства микроэлектронных устройств  $e [Учебник для сред. спец. учеб. заведений по спец. «Пр-во микроэлектрон. устройств»] 
210 # # $a М.  $c Энергия  $d 1980 
215 # # $a 455 с.  $c ил.  $d 21 см 
300 # # $a Библиогр.: с. 437-438 (25 назв.). Предм. указ.: с. 439-441 
345 # # $9 15000 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы - Производство - Учебники и пособия 
675 # # $a 621.382.049.77.002(075.32) 
700 # 1 $a Малышева  $b И. А.  $g Идея Александровна 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070329  $g psbo