Термическое окисление кремния в электрическом поле: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Малевская, Л. А. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1984 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr14995110000 | ||
| 005 | 20070329165246.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070329d1984 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Термическое окисление кремния в электрическом поле $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук $e (02.00.01) |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1984 |
| 215 | # | # | $a 24 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола. Библиогр.: с. 23-24 (9 назв.) |
| 686 | # | # | $a 02.00.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Малевская $b Л. А. $g Людмила Анатольевна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070329 $g psbo |