Особенности напыления тонких диэлектрических пленок SiO2, TiO2, AlO3, ZrO2 в вакууме с помощью непрерывного излучения CO2-лазера: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.08) / Рос. АН, Ин-т металлургии им. А. А. Байкова
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Ляпахин, А. Б. |
| Publié: | М. , 1992 |
| Description matérielle: |
19 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||