Металлургическое оборудование для получения кристаллов полупроводниковых материалов: Текст лекций / Урал. политехн. ин-т им. С. М. Кирова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лысаков, М. А. |
| Опубликовано: | Свердловск , 1987 |
| Физические характеристики: |
39 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr14686630000 | ||
| 005 | 20180507095016.0 | ||
| 010 | # | # | $d 10 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [87-79786] |
| 100 | # | # | $a 20070326d1987 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Металлургическое оборудование для получения кристаллов полупроводниковых материалов $e Текст лекций $f Урал. политехн. ин-т им. С. М. Кирова |
| 210 | # | # | $a Свердловск $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 39 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 36 (10 назв.) |
| 345 | # | # | $9 300 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Полупроводники - Производство |
| 675 | # | # | $a 621.382.002 |
| 700 | # | 1 | $a Лысаков $b М. А. $g Михаил Александрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070326 $g psbo |