Исследование кремния и германия, легированных азотом методом ионной имплантации: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ347740К,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Лисенкова, Н. В.
Опубликовано: Горький , 1978
Физические характеристики: 18 с.
Язык: Русский
00000cam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr14373020000
005 20201028153843.0
100 # # $a 20070320d1978 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование кремния и германия, легированных азотом методом ионной имплантации  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (01.04.10) 
210 # # $a Горький  $d 1978 
215 # # $a 18 с. 
300 # # $a Для служеб. пользования. В надзаг.: Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. Библиогр.: с. 17-18 (14 назв.) 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Лисенкова  $b Н. В.  $g Наталья Владимировна 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070320  $g psbo