Разработка экспресс-методик контроля и оптимизации процесса ионной имплантации малых доз в производстве СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Воронежск. гос. ун-т им. Ленинского комсомола
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Левин, А. Ю. |
Опубликовано: | Воронеж , 1990 |
Физические характеристики: |
20 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr14075170000 | ||
005 | 20070319154045.0 | ||
100 | # | # | $a 20070319d1990 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Разработка экспресс-методик контроля и оптимизации процесса ионной имплантации малых доз в производстве СБИС $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f Воронежск. гос. ун-т им. Ленинского комсомола |
210 | # | # | $a Воронеж $d 1990 |
215 | # | # | $a 20 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-20 (13 назв.). Для служеб. пользования |
686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Левин $b А. Ю. $g Александр Юрьевич |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070319 $g psbo |