Технологические процессы и реакторы индивидуального плазмохимического травления для производства кремниевых БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.03)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лебедев, Э. А. |
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr14033080000 | ||
| 005 | 20070319153024.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070319d1985 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Технологические процессы и реакторы индивидуального плазмохимического травления для производства кремниевых БИС $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.03) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 25 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электронной техники. Библиогр.: 21-25 (40 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.03 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Лебедев $b Э. А. $g Эдуард Александрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070319 $g psbo |