Исследование и разработка системы автоматического регулирования мощности ВЧ разряда в установках плазмохимического травления: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.05)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лебедев, А. И. |
| Опубликовано: | М. , 1982 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr14005580000 | ||
| 005 | 20070319163804.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070319d1982 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка системы автоматического регулирования мощности ВЧ разряда в установках плазмохимического травления $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.13.05) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1982 |
| 215 | # | # | $a 21 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 19-21 (14 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.13.05 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Лебедев $b А. И. $g Александр Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070319 $g psbo |