Распределенные системы управления на базе микро-ЭВМ "Электроника НЦ" для гибких автоматизированных линий производства интегральных схем: (Принципы построения, техн. средства и програм. обеспеч.) : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.13.05 ; 05.13.01) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Кузнецов, М. Н. |
| Published: | М. , 1987 |
| Physical Description: |
58 с. : граф.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||