Исследование особенностей технологии получения сверхпроводящих пленок ниобия для криоэлектронных приборов и интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18) / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Кузнецов, В. П. |
Опубликовано: | М. , 1983 |
Физические характеристики: |
25 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr13412170000 | ||
005 | 20070303140114.0 | ||
100 | # | # | $a 20070303d1983 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Исследование особенностей технологии получения сверхпроводящих пленок ниобия для криоэлектронных приборов и интегральных схем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.18) $f Моск. ин-т электрон. техники |
210 | # | # | $a М. $d 1983 |
215 | # | # | $a 25 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 23-25 (18 назв.). Для служеб. пользования |
686 | # | # | $a 05.12.18 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Кузнецов $b В. П. $g Валерий Петрович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070303 $g psbo |