Исследование особенностей технологии получения сверхпроводящих пленок ниобия для криоэлектронных приборов и интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18) / Моск. ин-т электрон. техники

Сохранено в:
Шифр документа: 3584/86СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Кузнецов, В. П.
Опубликовано: М. , 1983
Физические характеристики: 25 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr13412170000
005 20070303140114.0
100 # # $a 20070303d1983 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование особенностей технологии получения сверхпроводящих пленок ниобия для криоэлектронных приборов и интегральных схем  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.12.18)  $f Моск. ин-т электрон. техники 
210 # # $a М.  $d 1983 
215 # # $a 25 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 23-25 (18 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.12.18  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Кузнецов  $b В. П.  $g Валерий Петрович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070303  $g psbo