Разработка промышленных процессов формирования мелкозалегающих элементов биполярных СБИС ЗУ с изопланарной изоляцией: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18) / Мин. радиотехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Красницкий, В. Я. |
| Опубликовано: | Мн. , 1983 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |