|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr13084910000 |
| 005 |
20070227161858.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 12 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [79-67003]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070227d1979 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология полупроводниковых материалов
$e Разд. «Получение элементов и эпитаксиал. слоев водород. восстановлением». Курс лекций
$f Под. ред. В. В. Крапухина
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИСИС
$d 1979
|
| 215 |
# |
# |
$a 76 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов. Библиогр.: с. 76 (4 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 250 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592.002(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Крапухин
$b В. В.
$g Всеволод Валерьевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Соколов
$b И. А.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070227
$g psbo
|
