|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr13084890000 |
| 005 |
20210430153426.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 20 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [89-44133]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070227d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология многослойных структур микроэлектроники
$e Учеб. пособие для практических занятий для студентов спец. 20.02
$f Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 114 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 111-112 (13 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 290 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24588
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2266631
$a УЧЕБНИК ДЛЯ ВУЗОВ
$2 BYGNR
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592(076.5)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Крапухин
$b В. В.
$g Всеволод Валерьевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Соколов
$b И. А.
$g Игорь Александрович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070227
$g psbo
|
