Процессы и аппараты для получения полупроводниковых материалов : Курс лекций. [В 4-х ч.] / Моск. ин-т стали и сплавов. Кафедра физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов. Ч. 2 : Вакуумная техника
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | 1974 |
| Физические характеристики: |
120 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam2a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr13084850003 | ||
| 005 | 20070227161858.0 | ||
| 010 | # | # | $d 20 к. |
| 100 | # | # | $a 20070227d1974 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 200 | 1 | # | $a Вакуумная техника |
| 210 | # | # | $d 1974 |
| 215 | # | # | $a 120 с. $c черт. |
| 300 | # | # | $a Список лит.: с. 111 (10 назв.) |
| 461 | # | 0 | $1 001BY-NLB-rr13084850000 $1 2001 $v Ч. 2 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070227 $g psbo |
| 830 | # | # | $a АН870174Ч.1;АН870175Ч.2; |