Повышение эффективности процесса центрифугирования полупроводниковых пластин на базе устройств с вихревой газовой прослойкой: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.07) / Моск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кочетов, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr13010520000 | ||
| 005 | 20070227193006.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070227d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Повышение эффективности процесса центрифугирования полупроводниковых пластин на базе устройств с вихревой газовой прослойкой $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.13.07) $f Моск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана |
| 210 | # | # | $a М. $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15-16 (13 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.13.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Кочетов $b В. И. $g Владимир Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070227 $g psbo |