Микроизображения: оптические методы получения и контроля

Сохранено в:
Шифр документа: 69113, 39726,
Вид документа: Книги
Автор: Котлецов, Б. Н.
Опубликовано: Л. : Машиностроение. Ленингр. отд-ние , 1985
Физические характеристики: 240 с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr12959570000
005 20150623130837.0
010 # # $b В пер.  $d 1 р. 20 к. 
021 # # $a RU  $b [85-38951] 
100 # # $a 20070227d1985 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Микроизображения: оптические методы получения и контроля 
210 # # $a Л.  $c Машиностроение. Ленингр. отд-ние  $d 1985 
215 # # $a 240 с.  $c ил.  $d 22 см 
300 # # $a Библиогр.: с. 234-239 (142 назв.) 
345 # # $9 2850 экз. 
610 0 # $a Микроизображения - Формирование - Оптические методы 
610 0 # $a Фотошаблоны для интегральных схем 
610 0 # $a Микроизображения - Технический контроль - Оптические методы 
610 0 # $a Технический контроль - Микроизображения 
675 # # $a 681.7.055:621.382.049.77:776 
700 # 1 $a Котлецов  $b Б. Н.  $g Борис Николаевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070227  $g psbo