|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr12954010000 |
| 005 |
20070227192507.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 25 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [80-5111]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070227d1979 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов
$e Лекции
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$c Ленингр. электротехн. ин-т
$d 1979
|
| 215 |
# |
# |
$a 59 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Ленингр. ин-т авиац. приборостроения. Библиогр.: с. 58 (7 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Котенко
$b Г. И.
$g Георгий Иванович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070227
$g psbo
|
