Исследование механизма и кинетики процесса получения эпитаксиальных слоев полупроводников сэндвич методом: Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук: (355) / Моск. ин-т стали и сплавов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коротков, А. С. |
| Опубликовано: | М. , 1968 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12827370000 | ||
| 005 | 20070222185921.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070222d1968 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование механизма и кинетики процесса получения эпитаксиальных слоев полупроводников сэндвич методом $e Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук $e (355) $f Моск. ин-т стали и сплавов |
| 210 | # | # | $a М. $d 1968 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 686 | # | # | $a 355 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Коротков $b А. С. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070222 $g psbo |