Физико-химические основы технологии микроэлектроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коровин, С. С. |
| Опубликовано: | М. , 1980 |
| Физические характеристики: |
76 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12779350000 | ||
| 005 | 20070221173337.0 | ||
| 010 | # | # | $d Беспл. |
| 021 | # | # | $a RU $b [80-48801] |
| 100 | # | # | $a 20070221d1980 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Физико-химические основы технологии микроэлектроники |
| 210 | # | # | $a М. $d 1980 |
| 215 | # | # | $a 76 с. $c черт. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т тонкой хим. технологии им. М. В. Ломоносова. Библиогр.: с. 75 (15 назв.) |
| 345 | # | # | $9 200 экз. |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.77 |
| 700 | # | 1 | $a Коровин $b С. С. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070221 $g psbo |