|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr12445820000 |
| 005 |
20200730094744.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 20 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [89-21234]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070216d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технологические схемы производства полупроводниковых приборов и ИМС
$e [Учеб. пособие]
$f Моск. ин-т электрон. машиностроения
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭМ
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 96 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 345 |
# |
# |
$9 400 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство - Технологические карты
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство - Технологические карты
|
| 675 |
# |
# |
$a [621.382.002+621.382.049.77.002](083.74)(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Колобов
$b Н. А.
$g Николай Афанасьевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Чернов
$b А. А.
$g Аркадий Алексеевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070216
$g psbo
|
